Области и дисциплини

Дипломна работа на тема Възстановяване свойствата на диелектрици с ниска диелектрична константа след химико-механично полиране

Каталожен номер 5943
Област Икономика
Дисциплина Екохимия
Вид Дипломна работа
Тема Възстановяване свойствата на диелектрици с ниска диелектрична константа след химико-механично полиране
Страници 58
Цена 73 лв.
Университет СУ
Година 2011
Добавена в сайта 04.04.2013 от Raboti.com
Изтегляния Няма изтегляния
Наличност да
Друга информация
Съдържание
I. Увод……………...………………...……………………………………………………...........2
II. Цел на дипломната теза……...……………………………………………………………….4
III. Химико-механично полиране...……………………………………………………………..5
1. Компоненти на ХМП……………………………………………………………………...6
2. Планаризиране…………………………………………………………………………….8
3. Механизми на ХМП……………………………………………………………………...10
4. Физични и химични процеси, протичащи по време на ХМП…………………………11
IV. Теоретична част…………………………………………………………………………….16
1. Забавяне на електричния сигнал в ИС…………..……………………………………...16
2. Производство на ИС на много нива…………………………………………………….19
3. Силсескиоксан-базирани диелектрици…………………………………………………20
4. Отлагане на диелектричен слой………………………………………………………...22
5. Литературна справка…………………………………………………………………….26
V. Използвани експериментални методи за охарактеризиране……………………………..29
1. Характеризиране на повърхностни свойства – контактен ъгъл………………………29
2. Инфрачервена спектроскопия с Фурие трансформация………………………………31
3. Елипсометрия…………………………………………………………………………….34
4. Измерване на диелектрична константа…………………………………………………37
VI. Експериментална част……………………………………………………………………...40
1. Експериментални детайли………………………………………………………………40
2. Полиране и потапяне в разтвор на ТМХС……………………………………………...42
3. Полиране, обработка с He/H2 плазма и потапяне в разтвор на ТМХС…..…………...45
4. Полиране, нагряване и потапяне в разтвор на ТМХС…………………………………47
5. Полиране, UV облъчване при нагряване и потапяне в разтвор на ТМХС...…………49
VII. Изводи……………………………………………………………………………………...54
VIII. Цитирана литература……………………………………………………………………..55
0 коментара
Оценка: 0.00
Можете да оценяване и коментирате след получаване на темата.
Заключване и премахване
Заключването, скриването и премахването на темата ще гарантира, че тя няма да може да бъде закупена от други потребители, а също така няма да се показва в резултатите при търсене. Освен това ще премахнем страницата с разработката от търсещите машини и така тя няма да се появява в резултатите на търсачки като Google, Yahoo, Bing и други след повторното индексиране на нашия сайт от тях.
Обработка и редактиране
За да сте сигурни че няма да има дублиране, засичане със софтуер за плагиатство и др., следва да направите допълнителни обработки и доработки на темата, така че от една страна да я промените, а от друга - да отговаря най-пълно на постaвените изисквания.
Raboti.com може да направи тези редакции вместо вас като предлагаме следните нива на редактиране:
Вид редакции Основно Стандартно Детайлно Максимално
⭐ Изготвяне на титулна страница, промяна на оформлението (стила, шрифта), леки размествания на параграфи, проверка и коригиране на малки стилистични несъответствия.
+🌟 Размествания на текстове/графики/съдържание, проверка за печатни и технически грешки, перефразиране на някои места, подобряване на стилистиката и четивността. -
+✨ Преформулиране на заглавията, перефразиране на изречения, проверка на правописа, стилистиката и граматиката, задълбочена работа върху структурата и логиката на текста. - -
+💫 Възможно най-малко съвпадение между разработката, изтриване на стара и добавяне на нова информация, актуализиране на данни и източници, различно съдържание - - -
Време за изготвяне 1-2 дни 3-4 дни 5-6 дни 7-14 дни
Цена / Изберете 36.50 лв.
73.00 лв.
146.00 лв.
292.00 лв.
*Максималното ниво се предлага при възможност след запитване
Цена: 73.00 лв.

Подобни теми:
Реферат
Оптични технологии. Оптични материали и оптични покрития
Дипломна работа
Кинезитерапия при нервни и психични болести
Курсова работа
Екохимия